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                技术文章

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                闽旋科技产品推介‖单晶炉用冷却水旋转接头

                发布日期: 2023-08-01    浏览次数: 1000    新闻编辑: 

                      半导体材料是半导体工业的基础材料,其中硅作为半导体材料中用量最大和用途最广的材料。在半导体∞芯片中,单晶硅材料占据了整个芯片体积的约99%,其生产技术和产量体现了一个国家在半导体行业中』的发展水平。同时随※着光伏行业的迅猛发展,单晶硅又被用来制作太阳能电池,逐渐取代多晶硅的行业占比。以此,市场对∏单晶硅的品质和长晶装备稳定性的要求也越来越高。


                       单晶炉作为一种在惰性㊣ 气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨◥加热器将多晶硅等多晶材料熔化,然后用直拉法生长无错位单晶的专用冶炼△设备,是目前人工单晶硅生长设备中很重要的产品系列。其结构如上图所示,主ζ 要由主机(包括炉体、籽晶旋转提升机构、坩∴埚轴驱动机构)以及抽气系统、充气系统、液压系统、水冷系统、加热电路▓电源、磁场控制装置等组成。


                      单晶直径生长过程中的质量,与温度、提拉速※度和转速,坩埚跟踪速度和转速,保护气体▅的流速等因素密切相关。其中,坩埚轴驱动部⊙件作为单晶炉设备的核心部件之一,要求各种精度都比较高①。冷却水旋转接头作为坩埚轴驱动机构模块的重要零部件装置,安装于坩埚轴的下部,主要起到冷却以及旋转密封的作用,实现固定管道的冷却水输送及热交换后︾的热水排出。同时在设备运〗转过程中,若旋转接头阻力大,则极易影响坩埚轴偏心振动,从而降低单晶硅的生产质量。可以说,旋转接头的品质高低也成为了▆单晶炉生产单晶硅品质高低不可忽视的关键。


                      我公司闽旋科技作为资深旋转接头专业制造厂家,系国内专注于机械密封与基础配套领域技术领先的高新技术企业,一直坚持技术创新,针对单晶炉品质需求的不断提升,结合其行业发展态势,对单晶炉用冷却水旋转接头进行全面优化与升级,研制出了系列适用产品,具体如下:


                      以上系列单晶炉用冷却水旋转头的提々升不止是阻力优化,更是产品综合性能的全面提升。通过技术和工艺的提升,实现产品“更安全、更可靠、更高效、更环保”全面升级,使用效果媲美国外进♀口产品,不仅仅在单晶炉行业中,同时在其他相关领域的实际应用中均取得了很好的效果,为客户带来更加安全可靠的使用体验,并创造了更大经济效益。


                      每一次创新都是一种突破,每一次变革都是一种责任。“以专业奏响中国旋转密封品牌强音”是闽旋科技不可忘却的使命,做强旋转密封技术,助力产业高质发展,发扬中国制造品牌”是我们肩⌒ 负的目标与责任,闽旋科技将持续与国家战略、行业发展、社会需求同频共振,以创▽新为驱动、以科技为支撑,用高品∑质的产品和服务,与广大合作伙伴勠力同心、共享共赢,共创更加美好未来。





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